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用于高温炉的钨钼金属隔热屏结构

发布时间:2020-07-29 09:46:33点击量:

  钨钼金属隔热屏被广泛的应用于高温炉炉衬,用于烧结、晶体生长、退火、钎焊等工艺操作,特别是在半导体领域、高温陶瓷烧结领域得到大范围的应用。耐火砖作为高温炉炉衬只能用于大气状态下工作,利用耐火砖自身的隔热性能进行保温,所以不能快速的升降温,每炉次周期较长,而且只能用于低温炉。现在高温炉领域大多是在真空或者氢气还原性气氛下工作,只能用钨钼金属隔热屏或者石墨隔热屏来作为炉衬。但石墨相对于钨钼材料来说饱和蒸气压高,所以高温下挥发大,对炉膛的污染很严重,需要对石墨隔热屏进行表面特殊处理,比如喷镀一层钨粉,或是涂氧化氮、氧化铌等,工艺复杂。钨钼材料具有足够低的饱和蒸气压,高温下挥发少,很少污染炉膛和工件,并且钨钼材料黑度小,表面光洁度高,能充分的将热量反射回炉内,热惯性很小,但透热性很大,所以不仅能快速升温或冷却,而且还能提高上限炉温并允许在高真空状态下工作。但是传统钨钼隔热屏采用铆接结构,高温下变形量很大,导致整体炉胆变形,热损耗很大,且不利于炉子的均温性要求,使热场内因为变形带来的温差较大,使工件的一致性较差。因此有必要改进。